檢索結果：共3筆資料 檢索策略： "none".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="相位移"
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本文以改良麥克森干涉系統再配合四分之一波片與偏光鏡的組合發展出更高解析度的光學非接觸式量測系統。利用簡單光學元件的組合產生四組不同的相位移狀態，即可得到四組連續的干涉條紋，使系統的解析度提昇四倍，達…
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本文以麥克森干涉系統為基礎再配合四分之一波片與檢波鏡的組合形成一檢測平坦度的光學非接觸式量測系統，並且將此系統組裝成為機構，所架設的機構俱有操作簡單與快速、價格便宜、體積小、攜帶性佳、量測範圍富有彈…
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以往相位量測法，常用於表面連續變化的量測，而對於階級跳動表面（例如光柵），則不易進行。本研究利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀，並結合光學顯微鏡，針對奈米級的光柵量測其線寬及階高。干涉術中加入…